[发明专利]一种可识别料片位置的取料设备及方法

摘要

本发明公开了一种可识别料片位置的取料设备及方法，属于晶圆制造技术领域。本发明提供的取料设备，包括位置检测装置，所述位置检测装置通过连接部固定在基座上，所述位置检测装置用于获取料盒的待取料位置处的料片信息；所述取料设备还包括升降机构及抓取机构，所述升降机构用于带动所述料盒升降，所述抓取机构用于在所述料盒的所述待取料位置处抓取料片。本发明公开的可识别料片位置的取料设备及方法，通过安装有探测料片位置的检测装置获取预设料片位置处的料片信息，解决了因料盒加工、组装偏差造成的夹取料片错位的问题，避免了因料盒加工或组装偏差导致的料片空置、错位等问题而造成的错误取料作业。