[发明专利]一种电离式气体传感器及制备方法有效
| 申请号： | 202110660509.9 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113390952B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 刘晓东;王旭;赵婷婷;刘海;候小强;孔令伟;张艳;朱文欢 | 申请（专利权）人： | 上海航天科工电器研究院有限公司;上海大学;昆山辰福元电子科技有限公司;上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/70 | 分类号： | G01N27/70 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王路 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电离式气体传感器，包括第一电极板和第二电极板，所述第一电极板远离所述第二电极板的一面溅射一层导电金属薄膜，所述第一电极板面向所述第二电极板的一面设有硅柱电极阵列，所述硅柱电极阵列的上表面设有至少一层金属薄膜，所述金属薄膜的上表面设有金属氧化物纳米线，所述第二电极板面向第一电极板的一面溅射有电极膜，所述第一电极板和第二电极板之间的间距为20‑400μm。该气体传感器制备工艺简单、稳定性好、击穿电压低，适合商业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电离 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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