[发明专利]一种具备公自转的主动射流抛光方法有效
申请号: | 202110654276.1 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113245956B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 毕春利;张海涛;李渊明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/01;B24B57/02 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 周蕾 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供一种具备公自转的主动射流抛光方法,包括以下步骤:在抛光过程中,恒定压力的抛光液通过抛光工具头的偏心喷嘴,偏心喷嘴内抛光销在恒定压力流动的抛光液作用下,抛光液通过抛光销使其旋转起来实现自转;同时抛光工具头旋转带动偏心喷嘴内抛光销实现公转;抛光销的公转与自转,以及抛光液对抛光销轴向的压力共同作用下,实现对与抛光销接触的元件的材料去除。本发明的主动射流抛光方法需要抛光销不仅绕工具回转轴公转运动,同时绕其自身回转轴自转,实现了抛光接触区中心去除量大、边缘平缓过度的更理想的去除函数形状、同时对其公转速度要求不高的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 具备 自转 主动 射流 抛光 方法 | ||
【主权项】:
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