[发明专利]阵列式触觉传感器有效
| 申请号： | 202110649521.X | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113532705B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨辉;王立辉;付健;曹瑞珉;陈志涛 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邹俊;黄华莲 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器的技术领域，提供了一种阵列式触觉传感器，包括：具有多条第一直线凹槽和多条第二直线凹槽的柔性衬底层、盖设在所述柔性衬底层上并覆盖所述第一直线凹槽和所述第二直线凹槽的柔性按压层、多个分别沿所述第一直线凹槽发射第一预定光束的第一光发射器、多个分别用于接收所述第一光发射器发出光束的第一光接收器、多个分别朝所述第二直线凹槽内发射第二预定光束的第二光发射器，以及多个分别用于接收所述第二光发射器发出光束的第二光接收器；各所述第一直线凹槽分别与多个所述第二直线凹槽交汇形成交汇空间。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 触觉 传感器 | ||
【主权项】：
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