[发明专利]阵列式触觉传感器有效
申请号: | 202110649521.X | 申请日: | 2021-06-10 |
公开(公告)号: | CN113532705B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 杨辉;王立辉;付健;曹瑞珉;陈志涛 | 申请(专利权)人: | 广东省科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 邹俊;黄华莲 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 触觉 传感器 | ||
1.阵列式触觉传感器,其特征在于,包括:具有多条第一直线凹槽和多条第二直线凹槽的柔性衬底层、盖设在所述柔性衬底层上并覆盖所述第一直线凹槽和所述第二直线凹槽的柔性按压层、多个分别沿所述第一直线凹槽发射第一预定光束的第一光发射器、多个分别用于接收所述第一光发射器发出光束的第一光接收器、多个分别朝所述第二直线凹槽内发射第二预定光束的第二光发射器,以及多个分别用于接收所述第二光发射器发出光束的第二光接收器;各所述第一直线凹槽分别与多个所述第二直线凹槽交汇形成交汇空间的阵列;多个所述第一直线凹槽、多个所述第一光发射器,以及多个所述第一光接收器分别一一对应;多个所述第二直线凹槽、多个所述第二光发射器,以及多个所述第二光接收器分别一一对应;
各所述交汇空间内分别设置有弹性透光组件;当所述柔性按压层在外力作用下朝所述柔性衬底层按压所述弹性透光组件时,经过所述弹性透光组件的第一预定光束发生会聚,经过所述弹性透光组件的第二预定光束发生会聚;
所述弹性透光组件包括:具有容置腔的箱体、封盖、弹性膜、第一透光膜、第二透光膜、第三透光膜,以及第四透光膜;所述箱体上开设有与所述容置腔连通的开口,所述封盖覆盖在所述开口上;所述封盖上开设有与所述容置腔连通的第一通孔,所述箱体上开设有与所述容置腔连通且位于所述第一预定光束上的第二通孔,所述箱体上开设有与所述容置腔连通且位于所述第一预定光束上的第三通孔,所述箱体上开设有与所述容置腔连通且位于所述第二预定光束上的第四通孔,所述箱体上开设有与所述容置腔连通且位于所述第二预定光束上的第五通孔;所述弹性膜覆盖在所述第一通孔上;所述第一透光膜覆盖在所述第二通孔上,所述第二透光膜覆盖在所述第三通孔上,所述第一透光膜为弹性材料制成的一体件;所述第三透光膜覆盖在所述第四通孔上,所述第四透光膜覆盖在所述第五通孔上,所述第三透光膜为弹性材料制成的一体件。
2.如权利要求1所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,所述容置腔相对两侧壁分别向外凸设形成第一凸台和第二凸台,所述第一凸台卡设在所述交汇空间一侧的所述第一直线凹槽内,所述第二凸台卡设在所述交汇空间另一侧的所述第一直线凹槽内;所述容置腔相对两侧壁分别向外凸设形成第三凸台和第四凸台,所述第三凸台卡设在所述交汇空间一侧的所述第二直线凹槽内,所述第四凸台卡设在所述交汇空间另一侧的所述第二直线凹槽内。
3.如权利要求1所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,还包括:设置在所述柔性按压层上的凸起部;所述凸起部插设在所述第一通孔内。
4.如权利要求1所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,所述容置腔内填充有可供光束穿过的预定液体。
5.如权利要求1所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,各所述第一直线凹槽分别平行设置,各所述第二直线凹槽分别平行设置。
6.如权利要求5所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,各所述第一直线凹槽分别与各所述第二直线凹槽相互垂直设置。
7.如权利要求1所述的阵列式触觉传感器,其特征在于,所述第一直线凹槽与所述第二直线凹槽的宽度相同。
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