[发明专利]一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202110644302.2 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113512707A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 曹培;张青;王定堃;沈杰 | 申请（专利权）人： | 江苏南钢通恒特材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人： | 张灿秋;卢嘉星 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面工程技术领域，且公开了一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将电磁感应加热线圈先进行粗磨和细磨，采用新的清洗方式洁净表面，将线圈放置在真空室中并抽真空至压强≤1×10‑3Pa，溅射工作气体为纯度99.99％氩气,工作气压稳定在1Pa，溅射功率150～200W，溅射时间60～120min，溅射温度为80～120℃。该电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，通过磁控溅射技术利用纯度99.99％的氧化铝靶材在紫铜电磁加热感应线圈表面快速形成氧化铝镀膜，此氧化铝薄膜厚度均匀、致密性好且与基体结合效果好，不易脱落，硬度高耐磨性好，解决了紫铜线圈因强度不足易变形或表面划伤而引起的工件表面加热不均匀问题，提高了工件热处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁感应 加热 线圈 氧化铝 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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