[发明专利]一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：

S1、将电磁加热感应线圈进行打磨，依次使用清洗液在超声波清洗机中对线圈进行清洗；

S2、将电磁感应加热线圈放置在真空室内，将真空室抽真空至其压强在≤1×10-3Pa，每次沉积前需在Ar(99.99％)气氛中预溅射5min；

S3、电磁感应加热线圈表面进行喷丸处理去除表面杂质、杂色及氧化层，同时使介质表面粗化，增加与涂层之间的附着力，延长了涂膜的耐久性；

S4、采用磁控溅射技术沉积氧化铝薄膜，靶源为纯度99.99％圆形氧化铝靶。

2.根据权利要求1所述的一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中的打磨方式为，先进行600#粗磨，然后采用2000目SiC砂纸细磨，保证线圈表面光滑平整，无明显凹凸。

3.根据权利要求1所述的一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：对电磁感应加热线圈表面进行喷丸处理，喷丸处理参数压力为6MPa，总功率为0.6Kw，喷丸时间为30min。

4.根据权利要求1所述的一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：所述清洗液依次为丙酮、无水乙醇，保证线圈表面洁净。

5.根据权利要求1所述的一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：所述清洗方式为在清洗溶液中清洗2min，取出线圈令清洗液冷却2min，反复5次，防止连续长时间超声波清洗，使清洗液温度上升，清洗效果下降。

6.根据权利要求1所述的一种电磁感应加热线圈氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于：所述电磁加热感应线圈制作材料为紫铜，Al2O3薄膜厚度根据实际情况需要调整工艺参数获得。