[发明专利]一种便捷式光刻胶打胶装置在审
| 申请号： | 202110643357.1 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113351425A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 汪钢;傅立超 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C11/11 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 高凌 |
| 地址： | 315400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便捷式光刻胶打胶装置，涉及匀胶技术领域；包括压力罐、位于压力罐内的用以装胶水的胶杯、位于压力罐上的进气口、通过进气口输入氮气的加压机构、一端插入压力罐并位于胶杯内的出胶管、位于出胶管上的回吸阀。本发明的有益效果是：直接在压力罐里放胶杯，胶杯里放光刻胶。通过氮气压力，将光刻胶压出去。更换胶水时，只要清洗回吸阀和管路就好。比较便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便捷 光刻 胶打胶 装置 | ||
【主权项】：
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