[发明专利]一种便捷式光刻胶打胶装置在审

专利信息
申请号: 202110643357.1 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113351425A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 汪钢;傅立超 申请(专利权)人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10;B05C11/11
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 高凌
地址: 315400 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 便捷 光刻 胶打胶 装置
【说明书】:

发明公开了一种便捷式光刻胶打胶装置,涉及匀胶技术领域;包括压力罐、位于压力罐内的用以装胶水的胶杯、位于压力罐上的进气口、通过进气口输入氮气的加压机构、一端插入压力罐并位于胶杯内的出胶管、位于出胶管上的回吸阀。本发明的有益效果是:直接在压力罐里放胶杯,胶杯里放光刻胶。通过氮气压力,将光刻胶压出去。更换胶水时,只要清洗回吸阀和管路就好。比较便捷。

技术领域

本发明属于匀胶技术领域,特别涉及一种便捷式光刻胶打胶装置。

背景技术

匀胶中,正常光刻胶管路是胶泵打胶方式。这种是用在不经常更换光刻胶的地方。

更换光刻胶时,需要清洗胶泵(胶泵内部是波纹状,不容易清洗)等结构。

另外,胶泵一般都对应一个范围的光刻胶粘度。不同光刻胶粘度需要更换不同胶泵。局限比较大。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术上述缺点,提出一种便捷式光刻胶打胶装置,直接在压力罐里放胶杯,胶杯里放光刻胶。通过氮气压力,将光刻胶压出去。更换胶水时,只要清洗回吸阀和管路就好。比较便捷。

为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:

一种便捷式光刻胶打胶装置,包括压力罐、位于压力罐内的用以装胶水的胶杯、位于压力罐上的进气口、通过进气口输入氮气的加压机构、一端插入压力罐并位于胶杯内的出胶管、位于出胶管上的回吸阀。

作为优选,压力罐包括罐体、用以密封罐体的盖子、用以将盖子固定在罐体上的固定机构。

作为优选,盖子一端和罐体铰接;所述固定机构为穿过盖子另一端并且用以和罐体螺纹连接的固定螺栓。

作为优选,出胶管和穿过盖子并和盖子可拆卸连接。

作为优选,盖子上孔洞,所述孔洞下端设有用以夹持出胶管的橡胶套,所述橡胶套的一侧设有槽口,从而使得橡胶套的横截面呈C字形。

作为优选,盖子上设有泄压阀;所述泄压阀包括固接在压力罐外侧的阀体、位于阀体一端的滑槽、滑动连接在滑槽内的堵头、位于滑槽槽底的容纳槽、位于容纳槽内的用以对堵头施加朝向容纳槽的力的弹簧、位于阀体内的气道;所述气道一端和压力罐内部连通,所述气道另一端位于滑槽一侧而被堵头封堵,所述滑槽一侧设有被堵头封堵的出气口。

作为优选,出胶管远离压力罐的一端连接有出胶头;所述出胶头包括头体、位于头体内的胶道、和胶道一端连接的若干胶嘴;所述胶嘴呈直线阵列布置,所述胶道的横截面呈长圆形。

作为优选,压力罐内设有便于取出胶杯的提篮,所述胶杯位于提篮内。

本发明的有益效果是:直接在压力罐里放胶杯,胶杯里放光刻胶。通过氮气压力,将光刻胶压出去。更换胶水时,只要清洗回吸阀和管路就好。比较便捷。

附图说明

图1为压力罐示意图;

图2为压力罐剖视图;

图3为泄压阀示意图;

图4为出胶头示意图;

图5为本实施例管路示意图。

图中:压力罐1、胶杯2、进气口3、出胶管4、回吸阀5、罐体6、盖子7、孔洞8、橡胶套9、阀体10、滑槽11、堵头12、容纳槽13、弹簧14、气道15、胶道17、胶嘴18、提篮19。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步详细阐述:

实施例:

参见图1到图5,一种便捷式光刻胶打胶装置,包括压力罐1、位于压力罐1内的用以装胶水的胶杯2、位于压力罐1上的进气口3、通过进气口3输入氮气的加压机构、一端插入压力罐1并位于胶杯2内的出胶管4、位于出胶管4上的回吸阀5。

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