[发明专利]一种高线性度垂直腔面激光器芯片的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110635957.3 申请日: 2021-06-08
公开(公告)号: CN113484717A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 郑君雄;郑世进;崔雨舟;王青 申请(专利权)人: 深圳市中科光芯半导体科技有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R31/01;H01S5/00;B07C5/344;B07C5/36
代理公司: 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 代理人: 张静
地址: 518100 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及芯片生产技术领域,且公开一种高线性度垂直腔面激光器芯片的制造方法,包括支撑机构、检测机构,所述支撑机构包括支撑座,所述支撑座的内部固定连接有滑动腔座,所述支撑座的外表面活动连接有安装盘,所述检测机构包括检测板,所述检测板的侧表面活动连接有回收座,所述检测板的外表面开设有检测槽,还包括对接组件,所述对接组件包括压力框,所述压力框的内部活动连接有挤压簧架,所述压力框的侧表面活动连接有伸缩架,所述伸缩架的侧表面活动连接有活动杆,所述活动杆的左右两侧均活动连接有连接绳。在使用时可以自动对芯片座进行检测,操作较为方便,能够准确的对芯片进行检测,且方便了对芯片的回收和筛选。
搜索关键词: 一种 线性 垂直 激光器 芯片 制造 方法
【主权项】:
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