[发明专利]一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置在审
| 申请号： | 202110625557.4 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113566844A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨浩;李绍良;慕蓉欣;荣义杰;蒋辉;应俊 | 申请（专利权）人： | 上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 完增荣;张双红 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于叉指电极的谐振子动力学参数检测装置，该检测装置包括：基准平台，其中，垂直于所述基准平台的方向为第一方向；电极基座，安装在所述基准平台上，该电极基板具有孔；叉指电极，覆盖于所述电极基座上；电路板，覆盖于所述电极基座上；引线，用于连接所述叉指电极和所述电路板；位移及转动装置，其可在所述第一方向上伸缩和转动以及在所述基准平台上平移。本发明提出一种基于叉指电极的熔融石英谐振子动力学参数检测装置，利用叉指电极实现对镀膜前熔融石英谐振子的驱动和振动检测，进而测量出谐振子的动力学参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电极 谐振子 动力学 参数 检测 装置 | ||
【主权项】：
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