[发明专利]光刻机灯室装置

摘要

本发明提供了一种光刻机灯室装置，包括灯室外壳、散热罩和光源组件。灯室外壳设置有第一进风口、出风口和出光口。散热罩位于灯室外壳内，其开口端与所述出光口重合，散热罩的外壁与灯室外壳的内壁之间形成第一腔室，散热罩内部为第二腔室，散热罩还设置有第二进风口。光源组件位于第二腔室，包括光源和椭球反射镜，椭球反射镜将所述光源发出的光线反射后由出光口射出。第一腔室及第二腔室彼此连通，通过第一进风口和第二进风口分别向第一腔室和第二腔室吹入冷却风，第一腔室内的冷却风流经散热罩的外表面后从出风口流出，第二腔室的冷却风流入第一腔室后从出风口流出。在本发明使得所述光刻机灯室装置具有更好的散热效果。