[发明专利]掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质

摘要

本申请公开了一种掩模数据切割方法，该方法通过遍历掩模上的每一个多边形得到多个凹角，对每一个多边形内的凹角进行匹配得到多个弦，从多个弦中筛选独立弦，使用独立弦对多边形进行切割得到子多边形，其中，独立弦为不与其他弦相交的弦，则不进行切割，将子多边形中未匹配的凹角引出两条射线至子多边形的边缘处，通过每条射线之间的交点将射线划分为多个段，从多个段中选择候选段进行贪婪选择算法得到切割段，其中，候选段为与凹角相接的段，通过切割段将掩模切割为多个矩形。引入了对切割后得到的细条矩形的考虑，以及考虑真正对关键尺寸误差有影响的细条矩形的长度而不是数量来提升掩模版曝光良率，从而提升了效率。