[发明专利]除氧化物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置有效
| 申请号： | 202110605671.0 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113174579B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/04 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种除氧化物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。除氧化物的旋转靶材绑定方法将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，提拉硬质波纹片以刮擦背管外表面和/或靶管内表面，并且从背管与最底层靶管之间的间隙底部向上地往所述间隙内注入铟液，控制所述注入铟液的速度以使间隙内铟液的最高点低于硬质波纹片的最低点。该除氧化物的旋转靶材绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层或其他氧化物，提升铟与靶材/背管的贴合率。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 旋转 绑定 方法 计算机 可读 存储 介质 装置 | ||
【主权项】：
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