[发明专利]用于等离子体处理设备的静电吸盘组件在审
| 申请号： | 202110589056.5 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN114975053A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 龙茂林;曾为民;C·关 | 申请（专利权）人： | 北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 崔晓光 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种静电吸盘，其包括具有第一夹持电极和第二夹持电极的夹持层。提供了限定第一夹持区域和第二夹持区域的第一夹持电极。第一夹持区域和第二夹持区域由第一间隙分开，并且通过跨第一间隙延伸的至少一个电连接件电连接。第二夹持电极设置为从第一夹持电极径向向外。第二夹持电极限定由第二间隙分开的第三夹持区域和第四夹持区域。第三夹持区域和第四夹持区域通过跨第二间隙延伸的至少一个电连接件电连接。还提供了结合有静电吸盘的等离子体处理设备和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 设备 静电 吸盘 组件 | ||
【主权项】：
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