[发明专利]位置校正方法及位置校正设备有效
| 申请号： | 202110586234.9 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113310406B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王天民;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/84 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 沈祖锋 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种位置校正方法。位置校正方法用于校正工件的位置，工件形成有第一标记及第二标记，位置校正方法包括：利用第一成像装置以第一视场拍摄第一图像，且利用第二成像装置以第二视场拍摄第二图像，其中，第一视场小于第二视场；判断第一图像内是否包括第一标记的图像；若是，依据第一标记在第一图像内的位置，计算工件的一级位置偏差，及依据一级位置偏差对工件的位置进行第一校正；若否，判断第二图像内是否包括第二标记的图像；及若是，依据第二标记在第二图像内的位置，计算工件的二级位置偏差，及依据二级位置偏差对工件的位置进行第二校正，其中，第二校正的幅度大于第一校正的幅度。本申请还公开了一种位置校正设备。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 校正 方法 设备 | ||
【主权项】：
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