[发明专利]个体认证用结构体、其制造方法以及个体认证方法在审
| 申请号： | 202110568923.7 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113722697A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 安藤雅郎;山崎裕之;竹内正树;中川胜;伊东骏也 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社;国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | G06F21/36 | 分类号： | G06F21/36;G06F21/34 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种个体认证用结构体、其制造方法以及个体认证方法。具体提供一种个体认证用结构体，其中在合成石英玻璃基板表面部分的至少一部分上形成包括由合成石英玻璃形成的多个纳米柱的柱图案区域。在柱图案区域中，如通过纳米压痕法测量的，纳米柱具有35至100GPa的压痕弹性模量，并且纳米柱塑性变形。 | ||
| 搜索关键词： | 个体 认证 结构 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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