[发明专利]一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法在审
| 申请号： | 202110564951.1 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113355628A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 盛明亮;田晓磊;石煜;李小龙 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/16 | 分类号： | C23C4/16;C23C4/08;C23C4/02;B24C1/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法，首先对不锈钢管的基管通过旋转溅射方式进行喷砂，喷砂采用的钢砂为SUS304CW1.0不锈钢丝切丸与SUS304s1.0不锈钢丝圆丸按1:2混合而成，喷砂压力0.6‑0.7Mpa，这样增加喷砂效率，提高基管表面粗糙度，之后以旋转溅射的方式使融化的镍铝丝均匀溅射至背管表面，镍铝丝线径为φ2±0.1mm，电流215±15A，送丝速度5‑5.5m/min，这样溅射对基管进行打底，进一步提高基管表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 涂层 之间 结合 强度 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
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