[发明专利]一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法

说明书

本发明提供一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法，首先对不锈钢管的基管通过旋转溅射方式进行喷砂，喷砂采用的钢砂为SUS304CW1.0不锈钢丝切丸与SUS304s1.0不锈钢丝圆丸按1:2混合而成，喷砂压力0.6‑0.7Mpa，这样增加喷砂效率，提高基管表面粗糙度，之后以旋转溅射的方式使融化的镍铝丝均匀溅射至背管表面，镍铝丝线径为φ2±0.1mm，电流215±15A，送丝速度5‑5.5m/min，这样溅射对基管进行打底，进一步提高基管表面粗糙度。

技术领域

本发明涉及靶材领域，尤其涉及一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法。

背景技术

靶材是制备薄膜的主要材料之一，主要应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等，对材料纯度和稳定性要求高。

靶材的基管需要喷涂溅射涂层，涂层结合强度不够是靶材涂层开裂、脱壳的主因之一，一种较好的结合强度会大幅减少靶材（尤其是氧化铌靶材，这是因为氧化铌靶材技术难度较其它靶材更大）涂层开裂、脱壳异常，故提高基管表面粗糙度是靶材喷涂前重要项目。

现有技术专利CN105603354A公开了一种电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法，选取适合尺寸的钢管作为旋转靶材的内衬管，进行机加工，对钢管基体表面用丙酮进行清洁处理，去除表面污垢和氧化层，再使用专用喷砂机对其进行表面喷砂处理；喷砂过程中空气压力为0.4MPa，喷砂距离为100-150mm；根据喷涂材料设定一定的电压和电流，在电源的作用下，电弧保持稳定燃烧；在电弧发生点的背后，经雾化喷嘴加速后的高速气流使熔化的熔滴脱离线材并雾化成粒子，在高速气流的作用下喷射到经过预处理的基材表面形成涂层。该专利虽然公开了先进行喷砂，再进行溅射，但是仅此并不能很好的提高内衬管与涂层结合的强度。因此解决这一问题就显得十分必要了。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法，首先对不锈钢管的基管通过旋转溅射方式进行喷砂，喷砂采用的钢砂为SUS304CW1.0不锈钢丝切丸与SUS304s1.0不锈钢丝圆丸按1:2混合而成，喷砂压力0.6-0.7Mpa，这样增加喷砂效率，提高基管表面粗糙度，之后以旋转溅射的方式使融化的镍铝丝均匀溅射至背管表面，镍铝丝线径为φ2±0.1mm，电流215±15A，送丝速度5-5.5m/min，这样溅射对基管进行打底，进一步提高基管表面粗糙度，解决了背景技术中出现的问题。

本发明的目的是提供一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法，

步骤一：首先将不锈钢管的基管进行喷砂作业，钢砂以旋转溅射的方式均匀溅射至不锈钢背管表面，工艺要求：基管转速100r/min，枪距150mm，喷射角度90°，喷枪移动速度10-12mm/s；

步骤二：之后用高电流融化镍铝丝，然后以旋转溅射的方式使融化的镍铝丝均匀溅射至背管表面，工艺要求：镍铝丝线径为φ2±0.1mm，电压30±5V，电流215±15A，送丝速度5-5.5m/min。

进一步改进在于：所述步骤一采用的钢砂为SUS304CW1.0不锈钢丝切丸与SUS304s1.0不锈钢丝圆丸按1:2混合而成。

进一步改进在于：所述步骤二采用的镍铝丝的镍铝比例为90:10。

进一步改进在于：所述步骤二的基管转速100r/min，喷枪移动速度45mm/s，喷射角度90°。

进一步改进在于：所述步骤一的压力为0.6-0.7Mpa。

进一步改进在于：所述步骤一先用高温胶带包裹基管两端管口，并且套入同规格的橡胶保护套保护管口，再进行喷砂。

进一步改进在于：所述步骤二先使用高温胶带保护基管两端管口。