[发明专利]单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法在审
| 申请号： | 202110560713.3 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113405542A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;张严;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，其中所述敏感层的上表面设置有一加热器和四个热敏电阻；加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。本发明中四个热敏电阻构成等臂电桥，四个桥臂作为工作臂均参与敏感热气流的偏转，灵敏度是单一工作臂的四倍，大大提高了陀螺灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 热源 全桥式 薄膜 陀螺 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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