[发明专利]四电桥十字流式微机械z轴薄膜陀螺及其加工方法在审
| 申请号： | 202110560697.8 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113124844A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;张严;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种四电桥十字流式微机械z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，所述敏感层的上表面设置有呈正方形型结构的四个加热器、八个热敏电阻、八个平衡电阻和四个隔离电阻；加热器的通电方式为周期式方波驱动；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明陀螺的输出由四个电桥不平衡电压取平均后输出，误差小，精度最高；采用半桥，平衡电阻的阻值是热敏电阻的数百倍，有利于电压信号进一步放大时的阻抗匹配，防止干扰，抗干扰性强。 | ||
| 搜索关键词： | 电桥 十字 式微 机械 薄膜 陀螺 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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