[发明专利]一种磁光克尔转角在显微成像系统中的测量方法及其设备在审
申请号: | 202110558133.0 | 申请日: | 2021-05-21 |
公开(公告)号: | CN115372268A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 杨黄林;吴阳 | 申请(专利权)人: | 赫智科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21;G01N21/01;G02B21/06;G02B21/08;G02B21/02;G02B21/36 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 廖娜 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种磁光克尔转角在显微成像系统中的测量方法及其设备,包括准直透镜组、匀光镜组、第一光阑、第二光阑、起偏器、分光镜、全偏振相机模组、物镜及样品,所述准直透镜组的前方依次设置有匀光镜组、第一光阑、第二光阑、起偏器和分光镜,所述分光镜的一路朝向物镜,所述物镜的下方设置有样品,所述分光镜的另一路朝向全偏振相机模组,通过设备来实现对产品磁光克尔转角的探测。本发明能提高探测的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 克尔 转角 显微 成像 系统 中的 测量方法 及其 设备 | ||
【主权项】:
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