[发明专利]一种蒸发速率智能可调的蒸发镀膜方法有效
| 申请号： | 202110555306.3 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113235053B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李成林;郝明;杜雪峰 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发速率智能可调的蒸发镀膜方法，包括：（1）启动蒸发镀膜机的真空系统对镀膜室抽真空；（2）当镀膜室的真空度达到工艺要求时，启动线性蒸发源和控制系统；线性蒸发源的一级坩埚将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，并通过熔液流管将熔液注入二级坩埚；熔液在二级坩埚中加热蒸发实现蒸发镀膜；（3）在镀膜路径的下游设置有膜厚检测装置，可对基底上沉积的膜层进行膜厚检测；控制系统会实时获取膜厚检测数据，并根据膜厚检测数据对线性蒸发源在镀膜幅宽方向上的蒸发速率进行分段闭环智能调控，使基底上沉积的膜层呈现所需的膜厚分布状态，并在整个蒸发镀膜过程中保持该膜厚分布状态的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 速率 智能 可调 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于辽宁分子流科技有限公司，未经辽宁分子流科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110555306.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
