[发明专利]压力传感器元件及压力传感器在审
| 申请号： | 202110549483.0 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113739982A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 濑户祐希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L9/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器元件及压力传感器，即使不提高膜片与固定构件的对准精度，也具有稳定的压力灵敏度。压力传感器元件具备：薄板状的膜片(11)、固定所述膜片的固定构件(12)、和设置在所述膜片的所述第1表面上且电阻值根据所述膜片的变形而变化的至少一个应变电阻计(13a、13b、13c、13d)，所述固定构件(12)具有形成在与所述膜片的第1表面(11a)相对的环状的第一端面(12a)上且切去所述第一端面的内周的一部分的凹部(14a、14b、14c、14d)，所述应变电阻计(13a、13b、13c、13d)配置在所述膜片(11)的所述第1表面(11a)中的与所述凹部(14a、14b、14c、14d)对应的区域的附近。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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