[发明专利]一种出射相干光的VCSEL阵列芯片有效
| 申请号： | 202110546169.7 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113258438B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李冲;张琛辉;李占杰;杨帅;李巍泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/183;H01S5/42;G02B5/00 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 林聪源 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种出射相干光的VCSEL阵列芯片，属于激光器技术领域，包括VCSEL激光芯片，VCSEL激光芯片包括衬底层、第一反射镜以及激光发射单元阵列；与VCSEL激光芯片间隔设置的等离子体辐射层，且在等离子体辐射层一面上刻画有与激光发射单元阵列相对应的等离子体辐射栅，另一面设有反射层；第一激光发射单元垂直向等离子辐射层发射激光，使得等离子体辐射栅的自由电子发生集体振荡，激发出表面等离激元，表面等离激元在等离子体辐射栅和等离子体辐射层之间振荡传播，表面等离激元在反射层的作用下，以倏逝波形式垂直于等离子体辐射层表面方向传播，并激发第二激光发射单元发光，发出相干光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相干光 vcsel 阵列 芯片 | ||
【主权项】：
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