[发明专利]一种钛扩散制备铌镁酸铅钛酸铅光波导的方法在审
| 申请号： | 202110541056.8 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113388892A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 胡庆元;杨瑞;刘鑫;庄永勇;徐卓;魏晓勇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C30B31/02 | 分类号： | C30B31/02;C30B33/02;C30B29/32;C30B29/30;B24B29/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛扩散制备铌镁酸铅钛酸铅光波导的方法，对PMN‑PT单晶样品进行抛光，得到具有平整、无划痕的光学级表面的基片，清洗后利用光刻工艺制备特定图案的钛金属膜，将表面附着钛金属膜的单晶基片放在氧化铝板上，并将氧化铝板放在底部均匀撒上氧化铅粉末的氧化铝坩埚中，在湿氧环境下进行退火扩散后得到PMN‑PT晶体光波导。本发明的工艺步骤简单、易于操作、重复性好，制备出的PMN‑PT晶体光波导用于电光调制器件中能够有效降低驱动电压和器件尺寸，具有十分重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 制备 铌镁酸铅钛酸铅光 波导 方法 | ||
【主权项】：
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