[发明专利]一种基于自准直仪的多点位测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 202110538492.X | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113218338A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 赵旭东;方杰;杜铖柯 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于自准直仪的多点位测试装置及测试方法，多点位测试装置包括：入射光模块，包括扩束准直激光光源、光阑、空间光开光及光路辅助镜片，所述扩束准直激光光源用于产生照射在所述光阑上的平行激光束，所述光阑用于控制平行激光束宽度，所述空间光开关设置在经所述光阑出射光的光路上，用于控制激光束通断，所述光路辅助镜片用于改变激光束的光路以将激光束照射在待测芯片上；光接收模块，包括聚光部件及像点接收屏，所述聚光部件用于将经所述待测芯片反射的激光束照射在所述像点接收屏上。通过本发明的基于自准直仪的多点位测试装置，实现大幅提高生产测试效率，降低封测成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 准直仪 多点 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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