[发明专利]一种蒸发物料控制系统和方法在审
| 申请号： | 202110536850.3 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113136549A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄斌;李梦洁;赵东明;冯笑丹;赵志国;秦校军;李新连;张赟;熊继光;董超;夏渊 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 100036 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发物料控制系统和方法，包括若干个坩埚，坩埚用于盛放蒸发物料；坩埚的底部均设置有压力传感器，坩埚的外侧均设置有加热装置，加热装置通过控制装置控制加热功率，坩埚的内腔通过导管连通储料箱，导管上设置有阀门；压力传感器的输出端均连接数模转换器的输入端，数模转换器的输出端分别连接数据比较器输入端和控制装置的输入端，数据比较器输出端连接控制装置的输入端；数据比较器数据连接内置比较值的数据存储器；控制装置控制阀门的开启或关闭。能对无蒸发物料的蒸发源坩埚及时补充蒸发物料，增加设备的运行时间，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 物料 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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