[发明专利]一种辉光放电质谱高纯镓测试方法在审
申请号: | 202110525400.4 | 申请日: | 2021-05-11 |
公开(公告)号: | CN113533493A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 徐国军;张蛟;兰邦银;蒋明伟;杨谢行 | 申请(专利权)人: | 宣城开盛新能源科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司 |
主分类号: | G01N27/68 | 分类号: | G01N27/68;G01N1/44;G01N1/42;G01N1/36 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 方昊 |
地址: | 242000 安徽省宣城市宣城经济技*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本说明书一个或多个实施例提供一种辉光放电质谱高纯镓测试方法,包括将固态镓通过加热得到液态镓,清洗聚四氟乙烯模具,待风干后,将聚四氟乙烯模具放入冷却装置上,将液态镓倒入放置在冷却装置上的聚四氟乙烯模具中,并在设定时间内转移至超净工作台内,静置直到获得成型的样品,将成型的样品固定好,并装入GDMS的样品室中进行抽真空,样品通过半导体制冷方式降温在设定时间内进行放电,通过放电溅射去除表面的污染,待信号稳定后通过GDMS采集数据并分析,分析结束后,记录数据并保存,实现了对镓、铟这类低熔点的金属,可通过转化形态的方式获得待测平面进行测量的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 辉光 放电 高纯 测试 方法 | ||
【主权项】:
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