[发明专利]一种分子泵的升速控制方法有效
| 申请号： | 202110523735.2 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113137395B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李强;李建;陶继忠;陈一;刘广民;黄小津 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04;F04D25/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 伍旭伟 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空泵控制技术领域，具体涉及一种分子泵的升速控制方法，包括如下步骤：预定位、开环加速、开环转速检测、闭环控制；其中预定位进行两次或两次以上预定位操作，控制分子泵的转子定位在目标位置上，确保定位成功，避免升速失败；闭环控制包括闭环升速过程和稳速控制过程，闭环升速过程实时判定电机失步与否，若失步，输出电流减小，并继续判定电机失步与否，根据实时判定结果执行相应动作；若未失步，继续判断当前分子泵转速是否达到设定转速，若达到则进入稳速控制过程，若未达到则输出电流增大，并继续判定电机失步与否，执行相应的动作；本发明闭环升速过程不再以分子泵的速度值大小作为反馈值，避免电机失步时升速失败的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 升速 控制 方法 | ||
【主权项】：
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