[发明专利]一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用的工艺在审
| 申请号： | 202110522886.6 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113264513A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 聂爽;何睿鸣;倾彩霞;左姣;陈国平 | 申请（专利权）人： | 新中天环保股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/234 | 分类号： | C01B25/234 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 蒙捷 |
| 地址： | 401120 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及资源回收利用领域，公开了一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用的工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1将废蚀刻液置于反应装置中，使废蚀刻液中磷酸浓度为62‑65wt.％，将金属沉淀物和机械杂质排出，余下的为废蚀刻滤液；S2废蚀刻滤液进入汽提塔，在汽提塔内的底部通入蒸汽，从汽提塔的塔顶采集提取液1，从汽提塔的塔底采集提取液2；S3从提取液1中分离出混酸，提取液1的剩余部分回流至汽提塔；S4从提取液2中分离出磷酸溶液进入刮板式薄膜蒸发器，提取液2的剩余部分回流至汽提塔；S5刮板式薄膜蒸发器顶部的气相回流至反应装置，从刮板式薄膜蒸发器底部采集磷酸。本工艺可将废蚀刻液回收处理得到较高纯度的磷酸，实现了资源化利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 行业 蚀刻 资源 回收 利用 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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