[发明专利]一种降低质谱探测H2有效

专利信息
申请号: 202110516726.0 申请日: 2021-05-12
公开(公告)号: CN113237943B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 王兴安;王琴;王思雯 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 李晓莉
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种降低质谱探测H2和H2O背景噪声的超高真空装置,包括插板阀、前级泵组、主腔、差抽腔、质谱探测器;所述主腔包括固定室、导引系统、液氮夹层、杜瓦、冷头和钛升华泵。本发明的装置,背景物质由液氮夹层初次冷却后部分已经被吸附在腔壁上再由冷头二次冷却噪声明显降低,同时钛升华泵工作在本装置良好的低温环境协作下有效增强对H2和H2O的吸附并且溶解在钛膜中的H2不容易释放出来为处理H2背底含量高的问题提供一种解决方案,有效降低背景噪声提高质谱探测的精度,可以达到10‑12torr左右的超高真空,为探测气相动力学实验提供更高的分辨率和灵敏性,实现无油污染的超高真空。
搜索关键词: 一种 降低 探测 base sub
【主权项】:
暂无信息
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