[发明专利]一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统有效

专利信息
申请号: 202110513851.6 申请日: 2021-05-12
公开(公告)号: CN113008529B 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 彭琛;周文超;魏继锋;黄德权;常艳;蒋志雄;何均章 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 陈法君
地址: 621000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于超快激光成像的大口径光学元件测量系统,包括激光器、衍射光栅、光束调节件、待测光学元件、分光镜、色散元件、时间透镜模块、高速探测系统。本发明利用激光器产生宽光谱、高相干、高平坦度、超快脉冲激光;通过夫琅禾费衍射将脉冲激光的频域(光谱)信息被一一对应地映射到类线型的空间域上;通过柱棱镜成像或虚拟成像的方法将类线型光斑转换成矩形光斑,实现大口径实时测量;最终分别通过傅里叶色散及时间透镜映射实现对携带待测元件振幅、相位信息的激光实时测量。
搜索关键词: 一种 基于 激光 成像 口径 光学 元件 测量 系统
【主权项】:
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