[发明专利]钟摆阀在审
| 申请号： | 202110513123.5 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113653819A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 安熙俊;金凑泽 | 申请（专利权）人： | 褔田株式会社 |
| 主分类号： | F16K3/10 | 分类号： | F16K3/10;F16K3/30;F16K27/04;F16K41/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种钟摆阀，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴(内部轴)，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。 | ||
| 搜索关键词： | 钟摆 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于褔田株式会社，未经褔田株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110513123.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
