[发明专利]钟摆阀

说明书

本发明涉及一种钟摆阀，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴(内部轴)，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。

技术领域

本发明涉及一种钟摆阀(PENDULUM VALVE)，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门(valve gate)结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴(内部轴)，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。

背景技术

通常，半导体工艺中，蚀刻装置具备将进行蚀刻工艺的腔室和向腔室内施加真空或将腔室的残留气体向外部排出的真空泵连接的结构，通常在连接腔室和真空泵之间的连接管设置摇摆阀。

钟摆阀包括：阀壳，其配备有流入口和流出口；阀门，其位于阀壳的内部空间并与支撑臂连接，所述支撑臂与轴坚固地连接。轴可沿长度方向轴周围旋转，并可沿上下的轴方向移动。

图1是示出根据现有技术的钟摆阀的平面图，图2是截面图。在此，图2是沿图1示出的I-Ⅱ截取线截断而示出的截面图。

参照图1及图2，根据现有技术的钟摆阀50通常设置于连接管40并打开和关闭，所述连接管40在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，基本上包括：阀壳10，其设置于连接管40；盖20，其与阀壳10紧密连接；开关部30，其使得连接管40打开和关闭。

阀壳10垂直贯通形成有空气通路37，以便使得腔室和真空泵连通，运转室12以与空气通路37连通的形式向内部水平地形成。并且，开关部30包括圆盘形状的阀门31和驱动部33，驱动部33使得阀门31进行钟摆运动并使得连接管40打开和关闭，驱动部33包括步进马达32和轴(shaft)38，轴38通过齿轮36连接于步进马达的轴34的一端，此时，在轴38的另一端连接有阀门31的一端。

步进马达32独立地设置于阀壳10的下部，使得上部凸出设置于运转室12的轴38旋转。据此，阀门31一端与轴38的上部连接后旋转运转的同时使得空气通路37打开和关闭。密封口39以与空气通路37接触的形式设置于运转室12的上部，通过气缸25的运转而下降运转，密封环39a、39b以使得阀门31坚固地密封的形式进行两面结合。步进马达32借助电信号运转，齿轮36起到将步进马达32的动力传递至轴38的作用。

对具备这样构成的现有技术的钟摆阀50的动作特性进行说明。

图3及图4是用于说明根据现有技术的钟摆阀的动作特性而示出的截面，图3是连接管开放的状态，图4是连接管关闭的状态。

首先，参照图3，对使得连接管开放的过程进行说明。

如图3所示，以使得阀壳10的空气通路37位于腔室和真空泵之间的形式设置后，向步进马达32发送控制信号并控制步进马达32。此时，步进马达32初始运转，与用于制造半导体元件的装备设置的软件中已设定的设定值相对应而旋转。

步进马达32的旋转力通过齿轮36传递至轴38。轴38根据通过齿轮36传递的步进马达32的旋转力而旋转，阀门31以轴38为轴进行旋转，使得形成于阀壳10的空气通路37开放，从而通过空气通路37进出空气。此时，密封口39借助气缸25向上部移动，与阀门31隔开一定间隔。

参照图4，对使得连接管关闭的过程进行说明。