[发明专利]用于光学滤光片的自动缺陷检测与映射在审

专利信息
申请号: 202110500354.2 申请日: 2016-06-03
公开(公告)号: CN113218966A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 罗伯特·斯普拉格 申请(专利权)人: 美题隆公司
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 麦善勇;张天舒
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 公开了用于表征光学滤光片的点瑕疵(包括小孔和点缺陷)的装置和方法。执行通带测试包括:以其光谱范围至少与光学滤光片的通带重叠的通带照明来照射光学滤光片;当利用通带照明照射光学滤光片时,使用二维光电探测器阵列获取光学滤光片的通带图;以及将光学滤光片的点缺陷识别为通带图的低强度位置。执行阻带测试包括:以其光谱范围完全位于光学滤光片的通带之外的阻带照明来照射光学滤光片;当利用阻带照明照射光学滤光片时,使用二维光电探测器阵列获取光学滤光片的阻带图;以及将光学滤光片的小孔识别为阻带图的高强度位置。
搜索关键词: 用于 光学 滤光 自动 缺陷 检测 映射
【主权项】:
暂无信息
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