[发明专利]一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置在审
| 申请号： | 202110494315.6 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113321209A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 钱正芳;梁豪;周灿钦 | 申请（专利权）人： | 深圳华梦通讯技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518038 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置。包括一个用于石墨烯CVD生长的8英寸石英管、一个控制石墨烯CVD生长温度的真空管式电炉、一个升降架、一个金属底板、两个平行导轨和其他支撑结构。石英管通过支撑结构固定于真空管式炉中心位置。运用导轨、电动升降架控制真空管式电炉的水平和垂直位移，从而实现自动控制真空管式电炉闭合、开启。该设计可以减小石墨烯CVD装置占地面积，缩短CVD过程中的降温时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 垂直 升降 快速 冷却 石墨 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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