[发明专利]一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置在审
| 申请号： | 202110494315.6 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113321209A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 钱正芳;梁豪;周灿钦 | 申请（专利权）人： | 深圳华梦通讯技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518038 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 垂直 升降 快速 冷却 石墨 生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置，其特征在于，包括一个用于石墨烯CVD生长的(2)8英寸石英管、一个控制石墨烯CVD生长温度的(7)真空管式电炉，(1)垂直导轨，(3)两端支架，(4)水平台，(6)垂直支架，(8)水平导轨以及其它支撑结构。
2.如权利要求1所述的一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置，其特征在于所述升降架搭载了真空管式电炉，不限制构成形式，提供了真空管式电炉前后移动的自由度，可用于控制真空管式炉的开合和高自由度的移动，方便反应完成后进行冷却。
3.如权利要求1所述的一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置，其特征在于搭载在升降架的真空管式电炉为分裂式，通过安装导轨和升降架的方式使得反应后可将电炉放置在上部，方便反应完成后进行冷却。
4.如权利要求1所述的一种新型的垂直升降快速冷却的石墨烯生长装置，其特征在于用于石墨烯CVD生长的8英寸石英管长度略大于真空管式电炉的长度，相比水平移动式的CVD装置所需长度大大缩短，减小了设备的占地面积，更有利于保持管内气流的稳定和温度的稳定。
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