[发明专利]一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置有效
| 申请号： | 202110485923.0 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113324917B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 何彤;熊伟;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种基于最优化模型的高速椭偏测量方法及装置，其中方法包括：建立椭偏测量系统的系统模型，所述椭偏测量系统包括起偏器、光弹调制器PEM和检偏器；将入射光的Stokes矢量和所述椭偏测量系统的各系统参数代入系统模型后得输出光的光总强度参量的表达式；根据非线性最小二乘法并结合光总强度参量的表达式进行最优化模型的逻辑设计；数据经预设的最优化模型处理后，得到椭偏测量系统中各系统参数的实际值，根据各系统参数的实际值反演计算得到出射光的Stokes矢量，相较于现有技术，将椭偏测量过程转化成最优化问题进行求解，可以抑制系统偏差造成的影响，提高测量系统的鲁棒性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 优化 模型 高速 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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