[发明专利]一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110482494.1 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113278921B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陈汪林;李喆;黄勇浩;王成勇;伍达尧 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/54;C25F3/02;F28F21/08 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤，S1.衬底放置于PVD炉内，开启石墨靶源和离子源电源，施加‑10～‑100V的沉积偏压，所述偏压呈梯度增长；调节电流从10～3A梯度减少；沉积时间为50～90h，得到含有衬底的DLC层；S2.将步骤S1得到的产品进行腐蚀去除衬底，即得所述高厚曲面DLC制品。所述高厚度曲面DLC制品没有发生开裂脱落现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 曲面 dlc 制品 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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