[发明专利]一种全自动透射样品减薄设备及其应用方法在审

专利信息
申请号: 202110481647.0 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113267523A 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 钟黎声;董潇婉;朱建雷;白海强;邓超;商昭;高磊;王梓衡 申请(专利权)人: 西安理工大学;咸阳职业技术学院
主分类号: G01N23/20008 分类号: G01N23/20008
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 涂秀清
地址: 710048 陕*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种全自动透射样品减薄设备,包括底座,底座上设置有多级磨样盘,多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构,X轴运动机构上设置有Y轴运动机构,Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构,Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器,X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机,所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上,本发明还公开了一种全自动透射样品减薄设备的应用方法,操作简单,采用该全自动透射样品减薄设备制得的透射样品尺寸精度较高。
搜索关键词: 一种 全自动 透射 样品 设备 及其 应用 方法
【主权项】:
暂无信息
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