[发明专利]一种全自动透射样品减薄设备及其应用方法在审
申请号: | 202110481647.0 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113267523A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 钟黎声;董潇婉;朱建雷;白海强;邓超;商昭;高磊;王梓衡 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学;咸阳职业技术学院 |
主分类号: | G01N23/20008 | 分类号: | G01N23/20008 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 涂秀清 |
地址: | 710048 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种全自动透射样品减薄设备,包括底座,底座上设置有多级磨样盘,多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构,X轴运动机构上设置有Y轴运动机构,Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构,Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器,X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机,所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上,本发明还公开了一种全自动透射样品减薄设备的应用方法,操作简单,采用该全自动透射样品减薄设备制得的透射样品尺寸精度较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 透射 样品 设备 及其 应用 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安理工大学;咸阳职业技术学院,未经西安理工大学;咸阳职业技术学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110481647.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。