[发明专利]一种金刚石修整碟及其制造方法在审
| 申请号： | 202110481246.5 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113246037A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈铨祥 | 申请（专利权）人： | 厦门佳品金刚石工业有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24D7/18 |
| 代理公司： | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人： | 麻艳;朱玉珍 |
| 地址： | 361000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种金刚石修整碟及其制造方法，属于化学机械研磨技术领域。所述金刚石修整碟，包括氮化硅陶瓷基底和微米金刚石薄膜，微米金刚石薄膜涂覆在氮化硅陶瓷基底表面；通过拉曼光谱仪进行测定，微米金刚石薄膜仅在1330‑1339cm |
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| 搜索关键词： | 一种 金刚石 修整 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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