[发明专利]一种基于内标物微阵列的观测微区定位法

摘要

本发明公开了基于内标物微阵列的观测微区定位法，具体为：将待观测粉末状样品分散在溶剂中制成溶液，将溶液滴涂在透射电子显微镜专用加热芯片上；将载有待观测样品的芯片置于金属台上，将芯片边缘固定在金属台上，然后将载有芯片的金属台固定于FIB‑SEM双束系统中，在电子束窗口下，确定芯片上待测样品的位置；在离子束窗口下，向样品与芯片接触处定向沉积金属钨I，将样品固定；在芯片可观测窗口下沿着样品外周定向沉积金属钨II，在样品外周形成内标物微阵列；将标记后的芯片装载至透射电子显微镜原位加热样品杆，选取观测微区，通过图像采集和能谱技术记录样品的结构和组份信息；取出芯片，放入反应器内，开启特定反应；待反应结束后，取出芯片，重新装载至透射电子显微镜原位加热样品杆，通过内标物微阵列定位导航至选取的观测微区，通过图像采集和能谱技术观察观测微区内样品在反应后的结构及组份变化。