[发明专利]双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法在审
| 申请号： | 202110476165.6 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113189102A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 马小军;王琦;王宗伟;何智兵;唐兴;胡勇;叶成钢;高党忠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法，涉及光学精密检测技术领域，目的在于同时提升激光共焦系统的轴向分辨能力和横向分辨能力。本发明采用的技术方案是：双波长双共焦激光显微测量装置，包括激光器、入射光路、反射光路和探测装置，第一激光器I和激光器Ⅱ分别发出不同波长的激光束，经分束镜、准直器、偏振分光镜、四分之一玻片、物镜会聚到样品，反射光经物镜、四分之一玻片后，被偏振分光镜反射，再被半反半透镜分成两路，再分别进入探测器I和探测器Ⅱ进行探测。本发明将探测器I和探测器II分别安装于与物镜焦点共轭的位置，将双探测器归一化轴向响应曲线相乘后的输出作为共焦系统的输出，适用于光学高分辨测量。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 双共焦 激光 显微 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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