[发明专利]双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法

权利要求书

1.双波长双共焦激光显微测量装置，包括激光器、入射光路、反射光路和探测装置，其特征在于：激光器包括激光器I(1)和激光器Ⅱ(2)，入射光路为：分束镜(3)的两个入射光束方向分别设置激光器I(1)和激光器Ⅱ(2)，分束镜(3)的出射光束方向依次设置准直器(4)、偏振分光镜(5)、四分之一玻片(6)、物镜(7)和样品台(9)，物镜(7)还设置物镜驱动器(8)；反射光路包括物镜(7)、四分之一玻片(6)、偏振分光镜(5)，以及沿偏振分光镜(5)反射方向设置的半反半透镜(10)，半反半透镜(10)的透射方向依次设置滤光片I(11)、透镜I(12)、针孔I(13)和探测器I(14)，半反半透镜(10)的反射方向依次设置滤光片Ⅱ(15)、透镜Ⅱ(16)、针孔Ⅱ(17)和探测器Ⅱ(18)；其中，滤光片I(11)与激光器I(1)所发射激光束的波长相对应，滤光片Ⅱ(16)与激光器Ⅱ(2)所发射激光束的波长相对应，探测器I(14)和探测器Ⅱ(18)分别安装于与物镜(7)焦点共轭的位置。

2.如权利要求1所述的双波长双共焦激光显微测量装置，其特征在于：还包括物镜驱动器(8)，物镜(7)与物镜驱动器(8)相互配合。

3.如权利要求1所述的双波长双共焦激光显微测量装置，其特征在于：激光器I(1)和激光器Ⅱ(2)的入射方向相互垂直。

4.如权利要求1、2或3所述的双波长双共焦激光显微测量装置，其特征在于：滤光片I(11)和激光器Ⅱ(2)分别为激光线净化滤光片或超窄带通滤光片。

5.如权利要求1、2或3所述的双波长双共焦激光显微测量装置，其特征在于：探测器I(14)和探测器Ⅱ(18)为光电倍增探测器或CCD探测器。

6.双波长双共焦激光显微测量方法，其特征在于：通过上述权利要求1～5任一权利要求所述的双波长双共焦激光显微测量装置对样品进行激光显微测量，包括以下步骤：

S1、将样品置于样品台(9)，第一激光器I(1)和激光器Ⅱ(2)分别发出不同波长的激光束，并经入射光路会聚到样品，再沿反射光路分别进入探测器I(14)和探测器Ⅱ(18)；

S2、调整物镜(7)，对样品进行轴向扫描，得到样品表面光强-轴向位移响应信号；

S3、将探测器I(14)和探测器Ⅱ(18)测得的光强-轴向位移响应信号分别除以各自信号的光强最大值，获得两个归一化的光强-轴向位移响应信号；

S4、将两个归一化的光强-轴向位移响应信号中相同轴向位移点的光强相乘，采用相乘后的光强-轴向响应信号作为共焦系统的输出。

7.如权利要求6所述的双波长双共焦激光显微测量方法，其特征在于：双波长双共焦激光显微测量装置还包括物镜驱动器(8)，S2中，通过物镜驱动器(8)调整物镜(7)。