[发明专利]具有周期性微纳结构的聚酰亚胺薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110473265.3 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113210871B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 赵嵩卿;谢玄;庄振国 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学（北京） |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;B23K26/352;B23K26/066;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 邝圆晖;王崇 |
| 地址： | 102249*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种准分子激光器的光路系统和具有周期性微纳结构的聚酰亚胺薄膜的制备方法，该准分子激光器的光路系统包括用于发出激光的准分子激光器以及沿激光的光路导通方向依次布置的能量衰减器、匀光器和样品平台，能量衰减器用于调节激光的能量大小；匀光器用于均匀分布从能量衰减器内射出的激光的能量；样品平台用于承载待激光辐照的样品，样品放置于样品平台朝向匀光器的一侧。本发明的准分子激光器的光路系统能够利用激光诱导材料的周期性表面结构，确定特定的参数范围后能使准分子激光辐照到聚酰亚胺薄膜表面，并在聚酰亚胺薄膜表面形成周期性微纳结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 周期性 结构 聚酰亚胺 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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