[发明专利]一种一体化多余度离子化传感器在审
申请号: | 202110473066.2 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113176327A | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 钱祎棠;齐宝玲;钱永彪;杭益青;任欢欢 | 申请(专利权)人: | 上海苏萨电子科技有限公司;盟莆安电子(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人: | 童强 |
地址: | 200000 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及离子化传感器技术领域,具体为一种一体化多余度离子化传感器,所述传感器上设置有进气口、电离室、出气口,且所述进气口、出气口与所述电离室连通;其特征在于,所述电离室内至少包含:一个偏置电极,用于对被测气体施加直流电压;两个收集电极,用于获取与被测气体浓度相对应的电流信号;两个真空紫外灯,且所述真空紫外灯配置的输出光子能量不同或相同,用于被测气体施冗余测量和去除被气体中的干扰物;一个高压驱动模块,用于驱动所述真空紫外灯。本发明提高了传感器在全量程范围内的分辨率,能减少测量误差,有效延长传感器的维护周期和使用寿命,且可以用来甄别某些特定的化合物所对应的有机挥发物浓度。 | ||
搜索关键词: | 一种 一体化 多余 离子化 传感器 | ||
【主权项】:
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