[发明专利]红外吸收复合膜结构及二氧化碳热释电红外探测器

摘要

本发明涉及一种用于CO2热释电红外探测器的红外吸收复合膜结构，从上至下依次包括：第一二氧化硅层、氮化硅层、第二二氧化硅层，氮化硅层用于红外吸收。本发明还提供了相应的CO2热释电红外探测器。本发明的红外吸收复合膜结构，采用氧化硅‑氮化硅‑氧化硅多层介质膜作为红外吸收层，主要针对CO2气体的高效红外吸收进行设计，厚度控制在2um以内，可得到小于5％的反射率，且吸收率最高可达99.94％，吸收效率高、制作工艺简单、工艺兼容性好、附着力好，且制作成本低廉易于量产。