[发明专利]红外吸收复合膜结构及二氧化碳热释电红外探测器有效
| 申请号： | 202110472593.1 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113188669B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 甘凯仙;许晴;何虎;张杰;于海洋 | 申请（专利权）人： | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/3518 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201114 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外 吸收 复合 膜结构 二氧化碳 热释电 红外探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于二氧化碳热释电红外探测器的红外吸收复合膜结构，其特征在于，所述的红外吸收复合膜结构从上至下依次包括：第一二氧化硅层、氮化硅层、第二二氧化硅层，所述的氮化硅层用于红外吸收，所述的第一二氧化硅层的厚度为50nm，所述的氮化硅层的厚度为1110nm，所述的第二二氧化硅层的厚度为620nm。
2.根据权利要求1所述的红外吸收复合膜结构，其特征在于，所述的复合膜的反射率5％。
3.一种二氧化碳热释电红外探测器，其特征在于，从上至下依次包括权利要求1或2所述的红外吸收复合膜结构、上电极、热释电薄膜晶体层、下电极。
4.根据权利要求3所述的二氧化碳热释电红外探测器，其特征在于，所述的上电极从上至下包括上电极镀金层和上电极镀镍粘结层；所述的下电极从上至下包括下电极镀镍粘结层和下电极镀金层。
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