[发明专利]一种晶圆储存盒有效
申请号: | 202110460264.5 | 申请日: | 2021-04-27 |
公开(公告)号: | CN113306856B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 廖良生;王金彬;朱凯;祝晓钊;冯敏强 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D61/00 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 赵艳芳 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种晶圆储存盒,包括第一伸缩板和第二伸缩板,第一伸缩板和第二伸缩板上均形成有多个折叠槽,第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的折叠槽一一对应,第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的相应折叠槽之间形成储存晶圆的储存腔,每个折叠槽的外壁上均连接有推拉杆,推拉杆的第一端穿设折叠槽并连接有支撑件,支撑件的一端铰接在推拉杆的第一端,另一端铰接在折叠槽的内壁上。本发明可有效避免晶圆放片时的错插问题,大大提升了放片准确性和存储效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 储存 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司,未经江苏集萃有机光电技术研究所有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110460264.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。